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プロファイル
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氏名・所属
村上 秀樹(むらかみ ひでき)
hideki@hiroshima-u.ac.jp

広島大学大学院 先端物質科学研究科
量子物質科学専攻 助手
略歴
1996.3. 広島大学工学部第2類(電気系)卒業
1998.3. 広島大学大学院工学研究科博士課程前期修了(修士(工学))
1999.3. 広島大学大学院工学研究科博士課程後期中退
1999.4. 広島大学工学部助手
2002.4. 広島大学大学院先端物質科学研究科助手
所属学協会 応用物理学会
電子情報通信学会
世界水準の成果 ゲート絶縁膜薄膜化にともなうしきい値電圧ゆらぎの研究
分子層制御CVDによるアルミオキシナイトライドゲート絶縁膜とデバイス応用に関する研究
先駆的な研究成果 Sub-0.1μm nMOSFETにおける不純物空乏化現象の研究
産官学連携 CREST
主な発表論文名
1. A. Kohno, H. Murakami, M. Ikeda, S. Miyazaki and M. Hirose "Memory Operation of Silicon Quantum-Dot Floating Gate Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors" Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 40 No. 7B (2001)pp. L721-L723.
2.  M. Koh, W. Mizubayashi, K. Iwamoto, H. Murakami, T. Ono, M. Tsuno, T. Mihara, K. Shibahara, S. Miyazaki and M. Hirose "Limit of Gate Oxide Thickness Scaling in MOSFETs due to Apparent Threshold Voltage Fluctuation Induced by Tunnel Leakage Current" IEEE Trans. on Electron Devices Vol. 48 No. 2 (2001)pp. 259-264.
3. H. Murakami, W. Mizubayashi, H. Yokoi, A. Suyama and S. Miyazaki "Electrical Characterization of Aluminum-Oxynitride Stacked Gate Dielectrics Prepared by a Layer-by-Layer Process of Chemical Vapor Deposition and Rapid Thermal Nitridation" Inter. Conf. on Solid State Devices and Materials (Nagoya, Sept. 17-19, 2002) pp. 712-713.
4. H. Murakami, T. Mihara, S. Miyazaki and M. Hirose "Carrier Depletion Effect in the n+Poly-Si Gate Side-Wall/SiO2 Interfaces as Evaluated by Gate Tunnel Leakage Current" Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 41 No. 5A (2002)pp. L512-L514.
5. A. Suyama, H. Yokoi, M. Narasaki, W. Mizubayashi, H. Murakami and S. Miyazaki "Photoemission Technical Meeting of Aluminum Oxynitride/Si(100) Heterostructures-Chemical Bonding Features and Energy Band Lineup" Inter. Conf. on Solid State Devices and Materials (Nagoya, Sept. 17-19, 2002) pp.760-761.
6. Y. Darma, H. Murakami and S. Miyazaki "Formation of Nanometer Silicon Dots with Germanium Core by Highly-Slective Low-Pressure Chemical Vapor Deposition" Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 42 No. 6B (2003)pp. 4129-4133.
研究室ページ http://home.hiroshima-u.ac.jp/semicon/
個人ページ
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